在集成電路、分立器件和其他半導(dǎo)體產(chǎn)品中，半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)的重要組成部分，起著關(guān)鍵作用。在半導(dǎo)體相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)周期長(zhǎng)、技術(shù)要求高的情況下，企業(yè)必須制定一套長(zhǎng)遠(yuǎn)的策略，以建立良好的設(shè)計(jì)和制造能力。某些細(xì)分領(lǐng)域的公司競(jìng)相開(kāi)發(fā)新工藝，逐鹿半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)。要推動(dòng)數(shù)字化革命，就必須有更強(qiáng)大的計(jì)算和存儲(chǔ)能力，換句話說(shuō)，就是芯片的制造，而芯片制造的基礎(chǔ)就是采用更高的水質(zhì)，超純水已成為企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的制勝法寶。

　　半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC和顆粒物的要求越來(lái)越嚴(yán)格。由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高，因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水有極其嚴(yán)格的水質(zhì)要求。

　　半導(dǎo)體工業(yè)是超純水應(yīng)用的主要產(chǎn)業(yè)之一，在半導(dǎo)體加工過(guò)程中，對(duì)水質(zhì)要求很高，不含任何離子雜質(zhì)。半導(dǎo)體超純水設(shè)備可以有效去除水中雜質(zhì)，保證設(shè)備出水水質(zhì)。萊特萊德采用雙反+EDI+Huncotte系統(tǒng)組合工藝，出水可達(dá)18.2mΩ·cm。

　　反滲透系統(tǒng)采用反滲透原理，主要去除溶解鹽、有機(jī)物、膠體、高分子等，降低水質(zhì)離子含量。EDI是結(jié)合離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)的純水制造技術(shù)。它不需要酸堿再生，是一種新的脫鹽方法。EDI無(wú)需回收化學(xué)品，運(yùn)行成本低，EDI超純水系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行，出水水質(zhì)良好穩(wěn)定，出水電阻率高≥ 15mΩ·cm。Huncotte系統(tǒng)用于高純水處理系統(tǒng)的末端凈化器?？蓪⑺须x子含量降至ppb級(jí)，出水電阻率可達(dá)18.2mΩ·cm，為半導(dǎo)體帶來(lái)更好的性能優(yōu)勢(shì)。

　　萊特萊德經(jīng)過(guò)多年實(shí)踐，同時(shí)結(jié)合膜分離技術(shù)，采用了反滲透和離子交換系統(tǒng)(或EDI)相結(jié)合的方法制備超純水，與傳統(tǒng)方法相比，具有運(yùn)行費(fèi)用低(離子交換器的再生周期大大延長(zhǎng))，運(yùn)行可靠。萊特萊德超純水設(shè)備出水水質(zhì)符合美國(guó)ASTM D5127電子及半導(dǎo)體業(yè)用純水水質(zhì)TypeE-1.2，高于中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn)。從研發(fā)設(shè)計(jì)、設(shè)備制造，到工程施工、運(yùn)營(yíng)維護(hù)，萊特萊德都秉承"科學(xué)創(chuàng)新，以人為本，客戶至上"的經(jīng)營(yíng)服務(wù)理念，為客戶提供高質(zhì)量水處理設(shè)備。

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　　編輯：虞美人 技術(shù)：米